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Ausbeute einer Waferfertigung
AFB I–IIIn einem Halbleiterwerk entstehen auf jedem Wafer 620 Chips. Beim elektrischen Test auf dem Wafer bestehen 558 Chips. Pro Tag werden 1200 Wafer fertiggestellt.
- Beschreiben Sie, wozu der elektrische Test vor dem Vereinzeln des Wafers dient.
- Bestimmen Sie die Ausbeute in Prozent sowie die Zahl der guten Chips pro Tag.
Hinweise
Hinweis zu Aufgabe a)
Überlegen Sie, welcher Aufwand nach dem Vereinzeln noch für jeden einzelnen Chip anfällt — und was es kosten würde, diesen Aufwand für defekte Chips zu betreiben.Beschreiben verlangt eine geordnete, vollständige Darstellung in Fachsprache, keine Bewertung.
Hinweis zu Aufgabe b)
Die Ausbeute ist der Anteil guter Chips an allen Chips eines Wafers. Erst danach mit der Zahl der Wafer pro Tag multiplizieren.